由于大連實驗臺柜加工精(jing)(jing)度(du)越(yue)來越(yue)精(jing)(jing)細(xi)，所以(yi)對溫度(du)波動范圍(wei)的(de)要(yao)求越(yue)來越(yue)小。例如在大(da)規模集成電路生(sheng)產的(de)光刻曝光工藝中，作為掩(yan)膜板材料的(de)玻璃與硅片的(de)熱膨脹系數的(de)差要(yao)求越(yue)來越(yue)小。直徑100 um的(de)硅片，溫度(du)上升(sheng)1度(du)，就(jiu)引起了0.24um線性膨脹。

所以必須(xu)有±0.1度的(de)(de)恒溫(wen)，同時要(yao)求濕度值一般(ban)較低，這(zhe)里要(yao)討論的(de)(de)氣(qi)流(liu)速(su)度是(shi)指潔(jie)凈室內的(de)(de)氣(qi)流(liu)速(su)度，在(zai)其他(ta)潔(jie)凈空(kong)間中的(de)(de)氣(qi)流(liu)速(su)度在(zai)討論具體(ti)設備時再(zai)說明。這(zhe)是(shi)指為(wei)增加某一指定地點(如工(gong)作(zuo)點)的(de)(de)照度而設置的(de)(de)照明。

但在室內照明由一般不(bu)(bu)單獨使用(yong)局部(bu)照明。吹過(guo)水平面的氣(qi)流速度(du)(du)(du)(例如側送時回(hui)流速度(du)(du)(du))不(bu)(bu)宜(yi)太大，以免吹起表(biao)面微粒重返(fan)氣(qi)流，而造(zao)成再污染，這(zhe)一速度(du)(du)(du)一般不(bu)(bu)宜(yi)大干0.2m/s。潔凈空間的溫濕度(du)(du)(du)主要(yao)(yao)是根(gen)據工藝(yi)要(yao)(yao)求(qiu)來確定，但在滿足工藝(yi)要(yao)(yao)求(qiu)的條(tiao)件下，應考慮到(dao)人的舒(shu)適(shi)度(du)(du)(du)感。